山東力冠微電子裝備

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地址:濟南市槐蔭區(qū)濟南寬禁帶半導體產業(yè)園

電話:15562450816

郵箱:liguan1218@163.com

LPCVD臥式爐

LPCVD設備是半導體集成電路制造的重要設備之一,主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS。

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